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Apparative Ausstattung

  • Reinraumlabore für 6”-Siliziumtechnologie (nasschemische Reinigung, Ofenprozesse, Plasmaprozesse)
  • 800 m2 Solar-Technikum (SolarTeC) für die Prozessierung von Solarzellen auf industrienahen Anlagen
  • Siebdrucker, Trocken- und Feueröfen
  • Remote- und Direkt-Plasmabeschichtungsanlagen (PECVD)
  • Industrielle SiNx-Beschichtungsanlage nach dem ICP-Verfahren
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Thermische und plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Ultraschnelle ALD-Abscheidung
  • Cluster-PECVD-Tool für Abscheidung dotierter amorpher Si-Schichten
  • Integrierte Hochraten-Durchlauf-Aufdampf- und Sputteranlage
  • Laserlabor mit acht Laser-Materialbearbeitungssystemen
  • Verbindungs- und Modultechnologie: Löttechnik, Stringer, Laminator
  • Klimakammern sowie UV- und Halogenlampen-Bestrahlungsplätze
  • Shaker für die Transportsimulation von PV-Modulen
  • Modulflasher, Elektrolumineszenz-, Thermographie- und Fluoreszenzmessplatz für PV-Module
  • Sonnensimulatoren und spektrale Empfindlichkeitsmessung für 6”-Solarzellen
  • Vollautomatisiertes integriertes Solarzellen-Charakterisierungtool
  • Kamerabasierte Elektro- und Photolumineszenz für Solarzellen und Wafer
  • Infrarotkamera-Lebensdauertopographie (ILM)
  • Quasistatische Photoleitung (QSSPC)
  • Mikrowellen-detektiertes Photoleitungsabklingen (MW-PCD)
  • Injektions- und temperaturabhängige Lebensdauerspektroskopie (TIDLS)
  • Kapazitäts-Spannungs-Kennlinien (CV)
  • FTIR- und UV/VIS-Spektrometrie, Spektralellipsometrie
  • Dotierprofilmessung mit ECV-Profiler
  • Licht- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX)

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