Coatings

At ISFH several lab –type and production-type depositions tool sare available for processing state-of-the-art surface passivation layers, in particular

  • AlOx deposition with ALD (Oxfort Instruments Lab tool and Solaytec Spatial ALD) as well as ICP PECVD (Singular XP)
  • SiNx deposition of antireflection coatings or capping layers with PECVD (SiNA und Singular)
  • SiOx / SiO2 with thermal oxidation (Tempress) as well as PECVD (Oxfort Instruments Lab Tool and Singular)
  • (p,i,n) a-Si with PECVD (Von Ardenne Lab Tool and Singular)

Um unsere Website für Sie optimal zu gestalten und fortlaufend verbessern zu können, verwenden wir Cookies. Durch die weitere Nutzung der Website stimmen Sie der Verwendung von Cookies zu. Zur statistischen Auswertung der Besuche unserer Website nutzen wir die Analyse-Software Matomo. Weitere Informationen finden Sie in unserer Datenschutzerklärung. Dort befindet sich eine Möglichkeit, der Verarbeitung von Daten durch Matomo zu widersprechen. Datenschutzerklärung

Zur statistischen Auswertung der Besuche unserer Website nutzen wir Matomo und die dazu notwendigen Cookies. Weitere Informationen und die Möglichkeit dem Tracking zu widersprechen finden Sie unter "Datenschutz". Piwik verwendet sogenannte "Cookies", das sind kleine Textdateien, die auf Ihrem Computer gespeichert werden und die eine Analyse der Benutzung der Internetseiten durch Sie ermöglichen. Unsere Datenschutzseite

Schließen