Coatings

At ISFH several lab –type and production-type depositions tool sare available for processing state-of-the-art surface passivation layers, in particular

  • AlOx deposition with ALD (Oxfort Instruments Lab tool and Solaytec Spatial ALD) as well as ICP PECVD (Singular XP)
  • SiNx deposition of antireflection coatings or capping layers with PECVD (SiNA und Singular)
  • SiOx / SiO2 with thermal oxidation (Tempress) as well as PECVD (Oxfort Instruments Lab Tool and Singular)
  • (p,i,n) a-Si with PECVD (Von Ardenne Lab Tool and Singular)

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