Perowskit-Aufdampfanlage

Diffusionsofen

Atomlagenabscheidung

Apparative Ausstattung

  • 800 m² Solar-Technikum (SolarTeC) für die Prozessierung von Solarzellen auf industrienahen Anlagen
  • Ionenimplanter (gemeinsame Nutzung mit dem MBE-Institut der LUH und anderen Nutzern des LNQE)
  • Reinraumlabore für 6”-Siliziumtechnologie (nasschemische Reinigung, Ofenprozesse, Plasmaprozesse)
  • Oxidations- und Diffusionsöfen
  • Remote- und Direkt-Plasmabeschichtungsanlagen (PECVD)
  • Industrielle SiNx-Beschichtungsanlage nach dem ICP-Verfahren
  • Niederdruck chemische Gasphasenabscheidung (LPCVD) von dotierten amorphen Silizium-Schichten
  • Thermische und plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Ultraschnelle ALD-Abscheidung
  • Cluster-PECVD-Tool für Abscheidung dotierter amorpher Silizium-Schichten
  • Koverdampfung von Perowskiten
  • Industrielle Siebdrucker und Feueröfen für die Zellmetallisierung
  • Integrierte Hochraten-Durchlauf-Aufdampf- und Sputteranlage
  • Laserlabor mit fünf Laser-Materialbearbeitungssystemen
  • Elektrochemische Porosizierung von vollquadratischen Wafer
  • Verbindungs- und Modultechnologie: Löttechnik, Stringer, Laminator
  • Klimakammern sowie UV- und Halogenlampen-Bestrahlungsplätze
  • Transportsimulation von PV-Modulen (Shaker)
  • Modulflasher, Elektrolumineszenz-, Thermographie- und Fluoreszenzmessplatz für PV-Module
  • Isolationsprüfplatz für PV-Module
  • Sonnensimulatoren und spektrale Empfindlichkeitsmessung für 6”-Solarzellen
  • Vollautomatisiertes integriertes Solarzellen-Charakterisierungstool
  • Kamerabasierte Elektro- und Photolumineszenz für Solarzellen und Wafer
  • Quasistatische Messung der Photoleitung (QSSPC)
  • Mikrowellen-detektierte Messung des Photoleitungsabklingens (MW-PCD)
  • Temperatur- und Injektionsabhängige Lebensdauerspektroskopie (TIDLS)
  • Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)
  • Dotierprofilmessung mit ECV-Profiler
  • Licht- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenanalyse und Röntgenbeugung (EDX und XRD)
  • Ramanspektrometer and Röntgendiffraktometer
  • Messplatz für temperaturabhängige Hall-Messungen
  • 4-Linienbiegeversuch für mechanische Belastungstests von PV-Modulen

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