UltraPERC – Neue Produktionstechnologien für höchsteffiziente PERC Solarzellen

Im UltraPERC Projekt entwickelt das ISFH zusammen mit den Industriepartnern Singulus und LPKF die vorhandene PERC Technologie weiter zu höheren Wirkungsgraden und untersucht Prozesse zur Integration von ladungsträgerselektiven Kontakten in die PERC+ Zelle.

Ein Ziel des UltraPERC Projekts ist die Steigerung des Wirkungsgrades von industriell gefertigten PERC+ Solarzellen von derzeit 22.1% auf über 23%. Dazu beitragen sollen neue Oberflächenpassivierungen, die den Anforderungen an immer besser werdenden Emitter gerecht werden. Grundlage der Weiterentwicklung sind SiOx/SiNy Stacks, die an industrietypischen Anlage mittels PE-CVD abgeschieden werden.

In einem parallelen Entwicklungsstrang werden Prozesse zur Integration von ladungsträgerselektiven POLO-Kontakten in die PERC+ Zelle untersucht. Ziel ist es, die derzeit wirkungsgradlimitierende Vorderseite der PERC+ Zelle durch POLO Kontakte zu ersetzen. Dazu werden Abscheidemethoden zur Herstellung von POLO-Schichten an Laboranlagen sowie in einem weiteren Schritt an industrietypischen Anlagen untersucht. Mit diesem Zellkonzept sollen Wirkungsgrade von über 23% erreicht werden.