Apparative Ausstattung

Perowskit-Aufdampfanlage

Diffusionsofen

Atomlagenabscheidung
- 800 m² Solar-Technikum (SolarTeC) für die Prozessierung von Solarzellen auf industrienahen Anlagen
- Ionenimplanter (gemeinsame Nutzung mit dem MBE-Institut der LUH und anderen Nutzern des LNQE)
- Reinraumlabore für 6”-Siliziumtechnologie (nasschemische Reinigung, Ofenprozesse, Plasmaprozesse)
- Oxidations- und Diffusionsöfen
- Remote- und Direkt-Plasmabeschichtungsanlagen (PECVD)
- Industrielle SiNx-Beschichtungsanlage nach dem ICP-Verfahren
- Niederdruck chemische Gasphasenabscheidung (LPCVD) von dotierten amorphen Silizium-Schichten
- Thermische und plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD)
- Ultraschnelle ALD-Abscheidung
- Cluster-PECVD-Tool für Abscheidung dotierter amorpher Silizium-Schichten
- Koverdampfung von Perowskiten
- Industrielle Siebdrucker und Feueröfen für die Zellmetallisierung
- Integrierte Hochraten-Durchlauf-Aufdampf- und Sputteranlage
- Laserlabor mit fünf Laser-Materialbearbeitungssystemen
- Elektrochemische Porosizierung von vollquadratischen Wafer
- Verbindungs- und Modultechnologie: Löttechnik, Stringer, Laminator
- Klimakammern sowie UV- und Halogenlampen-Bestrahlungsplätze
- Transportsimulation von PV-Modulen (Shaker)
- Modulflasher, Elektrolumineszenz-, Thermographie- und Fluoreszenzmessplatz für PV-Module
- Isolationsprüfplatz für PV-Module
- Sonnensimulatoren und spektrale Empfindlichkeitsmessung für 6”-Solarzellen
- Vollautomatisiertes integriertes Solarzellen-Charakterisierungstool
- Kamerabasierte Elektro- und Photolumineszenz für Solarzellen und Wafer
- Quasistatische Messung der Photoleitung (QSSPC)
- Mikrowellen-detektierte Messung des Photoleitungsabklingens (MW-PCD)
- Temperatur- und Injektionsabhängige Lebensdauerspektroskopie (TIDLS)
- Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)
- Dotierprofilmessung mit ECV-Profiler
- Licht- und Rasterelektronenmikroskopie
- Energiedispersive Röntgenanalyse und Röntgenbeugung (EDX und XRD)
- Ramanspektrometer and Röntgendiffraktometer
- Messplatz für temperaturabhängige Hall-Messungen
- 4-Linienbiegeversuch für mechanische Belastungstests von PV-Modulen