Apparative Ausstattung

Perowskit-Aufdampfanlage

Diffusionsofen
Atomlagenabscheidung
  • 800 m² Solar-Technikum (SolarTeC) für die Prozessierung von Solarzellen auf industrienahen Anlagen (Batch- und Inline-Nasschemie, Diffusions- und Oxidationsofen, Direkt-Plasmabeschichtungsanlage (PECVD), Siebdrucker, Feuerofen)
  • Ionenimplanter (gemeinsame Nutzung mit dem MBE-Institut der LUH und anderen Nutzern des LNQE)
  • Reinraumlabore für 6”-Siliziumtechnologie (nasschemische Prozesse)
  • Laserlabor mit vier Laser-Materialbearbeitungssystemen
  • Niederdruck chemische Gasphasenabscheidung (LPCVD) von dotierten amorphen Silizium-Schichten
  • PECVD-Anlagen für Abscheidung dotierter amorpher Silizium-Schichten
  • Thermische und plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Ultraschnelle ALD-Abscheidung
  • Koverdampfung von Perowskiten
  • Nasschemische Abscheidung von Perowskiten
  • Sequentielle Abscheidung von Perowskiten
  • Integrierte Hochraten-Durchlauf-Aufdampf- und Sputteranlage
  • Verbindungs- und Modultechnologie: Löttechnik, Laminator
  • Klimakammern sowie UV- und Halogenlampen-Bestrahlungsplätze
  • Transportsimulation von PV-Modulen (Shaker)
  • PV-Modulflasher, Elektrolumineszenz- und Fluoreszenzmessplatz für PV-Module
  • Isolationsprüfplatz für PV-Module
  • Sonnensimulatoren und spektrale Empfindlichkeitsmessung für 6”-Solarzellen und PV-Module
  • Vollautomatisiertes integriertes Solarzellen-Charakterisierungstool (LOANA)
  • Kamerabasierte Elektro- und Photolumineszenz für Solarzellen und Wafer
  • Voll integriertes Analysetool für Mehrfachsolarzellen (LOANA-mj)
  • Quasistatische Messung der Photoleitung (QSSPC)
  • Mikrowellen-detektiertes Photoleitungsabklingen (MW-PCD)
  • Temperatur- und injektionsabhängige Lebensdauerspektroskopie (TIDLS)
  • Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)
  • Dotierprofilmessung mit ECV-Profiler
  • Licht- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Energiedispersive Röntgenanalyse und Röntgenbeugung (EDX und XRD)
  • Ramanspektrometer und Röntgendiffraktometer
  • Messplatz für temperaturabhängige Hall-Messungen
  • Praxistaugliches, elektrisch betriebenes leichtes Nutzfahrzeug als Demonstrator für Fahrzeug-integrierte Photovoltaik mit Einspeisung ins Hochvoltbordnetz