Eine 360-Grad-Aufnahme der Prozessanlagen im SolarTeC.

ISFH-SolarTeC: Industrielle Prozessanlagen für Silizium-Photovoltaik

Im ISFH SolarTeC prozessieren wir großflächige Solarzellen in einer produktionsnahen Umgebung auf industriegerechtem Equipment. Das Herzstück dieser Infrastruktur ist das 800 m² große Technologiezentrum, in dem Anlagen für Nasschemie, Diffusion, Oxidation, PECVD-Beschichtung, Siebdruckmetallisierung und Modulproduktion stehen. Ergänzt wird das Technologiezentrum durch ein Labor für Laserprozesse.

Am ISFH verfolgen wir einen industrienahen Ansatz, neue Technologien zu entwickeln, die idealerweise als Drop-in oder Add-on für den heutigen industriellen Mainstream geeignet sind. Aktuelle Beispiele sind passivierende „Poly-Si-on-Oxide“ (POLO) Kontakte und Tandem-Solarzellen-Konzepte. Erreicht wird dies durch eine enge Zusammenarbeit aller Arbeitsgruppen der Photovoltaik-Abteilung.

Eine besondere Stärke des SolarTeC am ISFH ist seine Flexibilität. Wir haben langjährige Erfahrung darin, die Prozesse und Anlagen unserer Partner mittels Kreuz-Prozessierung mit unseren Referenzprozessen und -anlagen im SolarTeC zu vergleichen. Dies bietet unseren Partnern die Möglichkeit, spezifische Materialien und einzelne Prozessschritte zu evaluieren oder gemeinsam mit uns alternative Solarzellen- und PV-Modulkonzepte zu entwickeln.

Industrielle Anlagen im SolarTeC

Inline-Anlage zum einseitigen Polieren und Ätzen (RENA)
Batch-Anlage für nasschemische Reinigung, Si-Ätzen, Textur (RENA)
Oxidations-, POCl3- und BBr3- Diffusionsofen
Niederdruck chemische Gasphasenabscheidung (LPCVD) von dotierten amorphen Silizium-Schichten
PECVD-Anlage für SiN, AlOx und dotierte amorphe Silizium-Schichten (poly-Si)
Laserlabor mit vier Laser-Materialbearbeitungssystemen
Siebdrucker für die Metallisierung von Solarzellen (DEK, ASYS)
Industrieller Feuerofen für Siebdruck-Kontaktbildung

Ansprechperson

Dr. Verena Mertens

+49(0)5151-999 315

Ansprechperson

Dr. Thorsten Dullweber

Abteilungsleiter PV: Infrastruktur

+49(0)5151-999 642